記
1.日 時:2021年5月12日(水) 15:00~16:50
2.開催方法:Zoomウェビナー
3.内 容:(14:30よりログイン可能)
15:00-15:05 会長挨拶
15:05-15:10 運営委員長説明(主旨、採点方法等)
15:10-15:42 委員会報告(各3分を予定)
15:10-15:26
(1)運営委員会直轄
・FPD調査統計専門委員会
・広報専門委員会
・貿易専門委員会
・半導体調査統計専門委員会
15:26-15:42
(2)技術部会
・装置制御技術専門委員会
・検査専門委員会
・ウェーハプロセス専門委員会
・リソグラフィ専門委員会
15:42-15:52 休 憩
15:52-16:12 委員会報告(各3分を予定)
15:52-16:00
(3)環境部会
・エネルギー効率利用専門委員会
・環境情報専門委員会
16:00-16:12
(4)安全サポート部会
・安全教育専門委員会
・安全専門委員会
・サービス専門委員会
16:12-16:22 休 憩
16:22-16:27 質疑応答
16:27-16:37 特別プロジェクト成果報告
16:37-16:47 発表表彰・講評